Дисципліни:
Розрахунков робота
На тему:

Спряжений аналіз акселерометра ємнісного типу.

Дисципліна: Автоматизація проектування мікроелектронних систем
ВНЗ:НУ «ЛП»
Формат: Word Doc

Переглядів: 883 Додано: 2015-04-14




Частина тексту

1. Мета роботи

 Мета роботи – моделювання роботи акселерометра ємнісного типу для заданої конструкції.

2. Лабораторне завдання

  1. Побудувати повну структурну модель акселерометра, враховуючи варіанти індивідуального завдання.
  2. За допомогою послідовно спряженого аналізу визначити прискорення порогу чутливості.
  3. Визначити максимальне допустиме прискорення для побудованої конструкції акселерометра (до зіткнення двох пластин).

Індивідуальне завдання

В таблиці 1 вказано індивідуальне завдання для виконання розрахункової роботи.

Варіант №

Відтань між електродами, мкм

24

17

3. Хід виконання лабораторної роботи

Для початку виконання розрахункової роботи потрібно побудувати поверхню нерухомого електрода акселерометра, яка розміщена під рухомим електродом на відстані 17 мкм і його розміри такі самі, як і у рухомого електрода (рис. 1).

Далі потрібно створити середовище, в якому функціонує акселерометр. Для забезпечення точності обчислень і адекватності отриманих результатів задамо лінійні розміри середовища удвічі більші за розміри конструкції акселерометра (рис. 2).